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単結晶シリコン用グラファイト製品の紹介
チョクラルスキーおよびフロートゾーン精製は、単結晶シリコン製造の2つの方法であるが、CZが一般的に使用される方法である。 高品位グラファイト材料は、CZ単結晶成長において広く使用されている。 グラファイト加熱モジュール用。
グラファイト加熱ゾーンは、上部グラファイト絶縁カバー、下部グラファイト絶縁カバー、メイングラファイトチューブ、内部および外部グラファイトガイドシリンダ、3つの花弁グラファイトるつぼ、グラファイトるつぼ支持体、グラファイトコアロッド、グラファイトコア保護スリーブ、グラファイト電極、グラファイト電極スリーブ、グラファイトヒーター、グラファイト保護ディスク、グラファイトボトムプレート、グラファイトスレッド、ナットなどがあります。また、トップ、メイン、ボトム絶縁グラファイトフェルトもあります。
単結晶シリコン用グラファイト製品の利点
●グラファイト材料選択のための費用対効果の高い提案
Zibo Yinxuanグラファイト加熱モジュールは、アイソスタティックグラファイト材料から機械加工されています。 ユーザがコストを削減する特別な要件を有する場合、単結晶物質にはほど遠い重要な位置ではないグラファイト部品に対して代替グレードのグラファイト材料を選択することができる。
●精密加工
グラファイト加熱モジュールは複雑な加熱システムです。 Zibo Yinxuan生産のグラファイトパーツは、スムーズな組み立てと構造的な逸脱なしに、お互いに完璧にフィットすることができます。
グラファイト加熱アセンブリ
3つの花弁黒鉛坩堝
グラファイト絶縁スリーブ
グラファイトのサポート
グラファイトガイドシリンダ
グラファイト製るつぼ
グラファイトサポートロッド
グラファイトヒーター